ЦИТ-Нано / Продукция / Перспективные разработки

Трехмерный нанопринтер

Нанопринтер, предназначен для создания в условиях обычной лаборатории наноразмерных приборов и устройств с заданной геометрией элементов, причем процесс полностью автоматизирован (выполняется по программе) и не требует высокой квалификации или специального обучения обслуживающего персонала. Размеры формируемых из различных металлов структур от 50 нм до десятков мкм при отношении высоты к диаметру более 10. Нанопринтер представляет собой портативное устройство, состоящий из блока сканирующей головки с острием, встроенного компьютера и блока управления.

Предлагаемый прибор не имеет на сегодняшний день аналогов по принципу работы и совокупности параметров ни в России, ни за рубежом.

Рабочая головка нанопринтера
Рабочая головка нанопринтера

В настоящее время для целей формирования наноструктур заданной геометрии используется ряд стационарных устройств, в основном зарубежных, среди которых можно выделить следующие.

Стационарные нанолитографические установки фирмы Cannon используемые в производстве современных микропроцессоров и схем памяти фирмами AMD, Intel и др. имеют разрешение до 30-50 нм (за счет создания специально скорректированных масок) и стоимость более 5 млрд. рублей.

Ускорители элементарных частиц и ядерные реакторы используемые для создания высоких наноструктур по методике (Lithographie, Galvanoformung, Abformung) используются крупнейшими научными центрами среди которых находится Курчатовский институт. Данные установки уникальны имеют астрономические стоимости и не доступны для свободного приобретения на рынке.

Установки электронной литографии и ионного травления (фирмы Jeol, Oxford Instruments, Raith) также представляют собой стационарное оборудование используемое в крупных научно-исследовательсчких центрах, имеющее стоимость порядка 100 млн руб.

Основными преимуществами разрабатываемого прибора являются дешевизна (не более 2 500 тыс. руб.), портативность, высокое разрешение (не хуже 10 нм), возможность формирования высоких структур, простота обслуживания (прибор работает в полностью автоматическая режиме по заданной программе).

Области применения: Производство современных микросхем и СВЧ приборов, изготовление прототипов оптических элементов нанометрового размера, обучение студентов современным нанотехнологиям.